ISO Class 4 Clean Process Platform
ISO-4级洁净工艺实施平台
配备动态 ISO-4 级洁净空间与同级别常用设备，可完成洁净清洗、洁净装配、慢抽慢充洁净真空测试与超导模组腔串洁净组装等工艺试验。
ISO Class 4洁净清洗洁净装配洁净真空腔串组装
01
平台介绍
该平台主体为动态ISO-4级洁净空间，配有同级别常用设备；可完成ISO-4级洁净清洗、洁净装配、慢抽慢充洁净真空测试、超导模组腔串洁净组装以及其它与洁净环境要求相关的工艺试验等任务。洁净平台可使用净面积约390m²（其中ISO-4级房间有52m²、30m²、56m²三间，ISO-5级房间有40m²、53m²两间、12m²出货过渡间及2间更衣间），平台主试验区为动态ISO-4。
02
平台优势
- 整体环境能够达到动态 ISO4 级标准
- 可实现ISO4级洁净清洗、装配、真空获得以及其它洁净要求试验
03
平台配套
- 超声波清洗机4台（最大使用容积1700×500×700mm，频率28MHz）
- 超纯水电阻率18.30MΩ·m
- 慢抽慢充洁净真空机组2套，可控最小抽速0.2SLM，最小充气0.1SLM，极限真空5.0E-6Pa，漏率1.0E-12mbar·L/s
- 高压冲洗设备1台，工作压力0.14~10 MPa
- 高精度台式粒子计数器4台，可测范围0.1μm~10μm
- 均布0.003μm过滤高纯吹扫氮气装置
- 0.2SLM~10SLM慢充气设备1套